近期在芯片涨价潮、国产替代步伐加速等多重利好催化下，半导体设备及材料领域作为芯片产业链中的“卖铲”环节备受资金关注，带动多只ETF交投异常火热。其中，Wind数据显示，科创半导体设备ETF（588710）2025年9月24日全天成交额达3.88亿元，环比大增超213%，当日资金净流入额达1.97亿元，单日成交额、单日资金净流入额均刷新其成立以来（2025/5/26）历史新高。
在市场情绪高涨和资金的密集加码之下，科创半导体设备ETF（588710）的规模也同步走阔。交易所数据显示，截至2025/9/24，科创半导体设备ETF（588710）最新份额达3.94亿份、最新规模达6.01亿元，今年9月以来规模增幅已达254%，同时创新成立以来（2025/5/26）历史新高。（注：根据交易所数据显示，2025年8月31日产品规模为1.70亿元）
消息面上，近期半导体产业国产替代步伐加速，多家科技龙头公司入局芯片研发，昇腾AI芯片迭代时间线，国产GPU龙头IPO审议在即、国产光刻机取得重要进展。半导体材料及设备处于半导体产业链的关键上游环节，且具有国产化率普遍偏低的特点，在自主可控取得进展、四季度订单拐点或到来之际，材料及设备领域或存在业绩与估值双重提升的空间。（信息来源：Wind资讯、财联社）
据悉，科创半导体设备ETF（588710）紧密跟踪的上证科创板半导体材料设备主题指数高度聚焦半导体设备和半导体材料两大领域，精准卡位半导体产业链上游环节，对于半导体关键环节的代表性较强。同时区别于部分半导体类指数沪深两市的选股范围，科创半导体材料设备指数专注于科创板市场选股，更聚焦化的选股范围有望进一步放大科创半导体设备材料指数的硬科技成色，也使得科创半导体设备ETF（588710）适用单日20%的涨跌幅限制。（资料来源：Wind、中证指数公司，截至2025/9/24）
东吴证券指出，从先进逻辑来看，国内先进逻辑扩产超预期；从存储来看，按照技术迭代的周期，明年将迎来新的迭代周期。此外大基金三期成立、国产DRAM内存龙头启动上市征程，国内先进制程良率、产能有望进一步提升。（资料来源：《半导体设备 | 点评：关注国产算力芯片发展，看好国产设备商充分受益》-2025/9/19）
科创半导体设备ETF（588710）及其联接基金（A类024974、C类024975）的基金管理人华泰柏瑞基金是境内首批ETF管理人之一，拥有超18年ETF运营经验，打造了目前A股市场规模居首的ETF——沪深300ETF（510300）。同时华泰柏瑞基金是业内首批集齐科创板四大宽基ETF产品的管理人，一手打造了科创板ETF（588090）、科创100ETF华泰柏瑞（588880）、科创200ETF（588230）、科创综指ETF华泰柏瑞（589990），始终积极关注科创领域布局，助力投资者共享科技时代发展红利。
注：截至2025/9/24，根据交易所数据显示，沪深300ETF（510300）规模为4，179.46亿元
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